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一种金属化电容器薄膜生产用真空蒸镀装置

申请人:湖北龙辰科技股份有限公司 申请日期:2021-05-13 文献日:2021-12-14 等级:0 文献号:CN215163062U 当前状态:授权 类型:实用新型 主分类号:C23C14/24 分类号:C23C14/24 申请编号:CN202121022569.X 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市高新技术开发区 申请人地址:湖北省黄冈市高新技术开发区 发明者:林美云; 吴忠平

总结

本实用新型公开了一种金属化电容器薄膜生产用真空蒸镀装置,包括壳体A,所述壳体A的一侧设置有壳体B,所述壳体B有两个,所述壳体A与所述壳体B的底部设置有安装座,所述壳体B的内部对称设置有安装轴,所述安装轴的顶部与底部对称设置有安装板,所述安装板的表面等角度开设有多个安装孔,所述安装轴贯穿通过所述安装孔的内部,所述安装轴的底部与所述安装孔之间设置有限位组件所述壳体A与所述壳体B的连接面设置有密封组件,所述密封组件包密封凸条、卡槽、密封垫A和密封垫B;该实用新型通过设计的密封组件便于提高壳体A与壳体B之间连接的密封性,使得薄膜在进行蒸镀时可以保持较好的真空状态,使得薄膜的蒸镀效果较好。

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