总结
本实用新型涉及一种光刻胶减压干燥装置，包括箱体及真空组件；箱体具有干燥腔，干燥腔中横设有干燥平台，干燥平台用以放置表面涂布有光刻胶的基板，且干燥腔相对的两内侧壁分别设有位于干燥平台上方的加热结构；真空组件包括设于干燥腔外的真空泵、及与真空泵相连通的真空管道，真空管道远离真空泵的一端伸入至干燥腔中、并位于干燥平台的中部上方。本实用新型使得基板中部的光刻胶溶剂成分与侧端的光刻胶溶剂成分，在加热结构与真空管道的配合下能够相对均衡蒸发，也即使得基板上的光刻胶能够均匀干燥。此外，加热结构的设置，也使得悬浮于干燥腔空气中的光刻胶溶剂液滴能够进一步汽化，便于通过真空管道排出，提高溶剂成分蒸发排出效率。
收藏
