总结
本实用新型提供一种E‑Chuck清洗治具。所述E‑Chuck清洗治具包括清洗台，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽上方通过螺栓固定连接有密封盖，清洗槽底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口、进水口以及排污口，清洗槽内部放置有若干组密封胶。本实用新型，通过增设清洗台，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽底部开设有三组通孔，分别为进气口、进水口以及排污口，且三组通孔外沿均开设有密封槽，密封槽内粘贴有密封圈，清洗槽边缘处一体连接有遮挡沿，遮挡沿上表面粘贴有密封环，清洗槽内不同位置设置有若干组密封胶，通过密封圈、密封环以及密封胶能够在清洗静电卡盘时形成良好的密封环境，便于利用气压对静电卡盘进行去污清洗。
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