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用于键合金丝研发的高纯石墨坩锅

申请人:丰睿成(湖北)半导体材料有限公司 申请日期:2023-04-03 文献日:2023-06-16 等级:0 文献号:CN219199980U 当前状态:授权 类型:实用新型 主分类号:F27B14/10 分类号:F27B14/10 申请编号:CN202320702872.7 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市浠水经济开发区洪山工业园 申请人地址:湖北省黄冈市浠水经济开发区洪山工业园 发明者:李军; 张海军; 程林峰

总结

本实用新型公开了一种用于键合金丝研发的高纯石墨坩锅,包括坩锅本体,该坩锅本体具有用于熔化金属的熔腔,其下端具有结晶器接口,该熔腔的上端为投料口,其下端和结晶器接口相通;由所述投料口至所述结晶器接口之间,所述熔腔形成直径由大到小的多级阶梯腔且各级阶梯腔的台阶处倒角;所述坩锅本体的底面开有测温槽,所述测温槽内设置有用于检测坩锅本体温度的测温传感器,测温传感器的信号输出端连接有PLC控制器。本实用新型高纯石墨坩锅的熔腔采用阶梯腔,阶梯腔由上而下直径减小,和传统的石墨坩锅相比,相同金属液面的情况下,所需要的贵金属质量更少,节省研发成本。

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