申请人：湖北芯洁电子科技有限公司 申请日期：2023-06-07 文献日：2023-08-15 等级：0 文献号：CN116598192A 当前状态：实质审查 类型：发明公开 主分类号：H01L21/02 分类号：H01L21/02 申请编号：CN202310668177.8 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 发明者：陈仕超; 杨佐东; 文海波; 孙豫军; 赵薇; 李强; 彭静