总结
本发明提供了一种真空镀膜夹具，属于真空镀膜技术领域，包括设置在镀膜室上部并与所述镀膜室之间通过第一驱动组件相连接的盖板，所述镀膜室上臂开设有与所述盖板相适配的缺口，所述盖板上开设有若干用于放置靶材的安装通道，所述盖板下方设置有支撑板，所述支撑板上部设置有与所述安装通道对应的支撑块，所述盖板底部开设有通道，所述支撑板上方中部通过活动柱延伸至所述通道内部；所述盖板上部还围绕所述安装通道设置有第一凹槽。本发明实施例中，通过第二驱动组件带动驱动筒沿第一凹槽向下移动，驱动筒带动夹持块移动至安装通道内部，从而从靶材侧面对靶材进行夹持，完成靶材的固定，具有夹持效果好的优点，为靶材的镀膜提供方便。
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