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基本信息
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一种硅片脱胶工装
申请人:
武汉宜田科技发展有限公司
申请日期:
2015-02-15
文献日:
2015-07-15
等级:
0
文献号:
CN204471623U
当前状态:
权利终止
类型:
实用新型
主分类号:
B28D5/00
分类号:
B28D5/00
申请编号:
CN201520113680.8
省份:
湖北省
城市:
湖北省黄冈市
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
发明者:
洪育林; 张震; 刘辉; 李文文; 安冠宇
总结
一种硅片脱胶工装,其包括两个间隔平行设置的端板,所述的两个端板通过两个间隔设置的支撑杆相连,并在该支撑杆底部的两个端板之间装设有两个平行间隔设置的托杆,并在所述的两个端板上设有两个呈腰型的调节孔,所述的两个调节孔呈倒八字型设置在所述的端板上,且在该调节孔内分别装设有一夹杆,并使该夹杆设置在所述的支撑杆和夹杆之间。本实用新型提供了一种硅片脱胶工装,以达到降低硅片破损、避免支撑杆的干扰碰撞、提高了硅片的生产良率的目的。
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