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一种硅片脱胶工装

申请人:武汉宜田科技发展有限公司 申请日期:2015-02-15 文献日:2015-07-15 等级:0 文献号:CN204471623U 当前状态:权利终止 类型:实用新型 主分类号:B28D5/00 分类号:B28D5/00 申请编号:CN201520113680.8 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 申请人地址:湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 发明者:洪育林; 张震; 刘辉; 李文文; 安冠宇

总结

一种硅片脱胶工装,其包括两个间隔平行设置的端板,所述的两个端板通过两个间隔设置的支撑杆相连,并在该支撑杆底部的两个端板之间装设有两个平行间隔设置的托杆,并在所述的两个端板上设有两个呈腰型的调节孔,所述的两个调节孔呈倒八字型设置在所述的端板上,且在该调节孔内分别装设有一夹杆,并使该夹杆设置在所述的支撑杆和夹杆之间。本实用新型提供了一种硅片脱胶工装,以达到降低硅片破损、避免支撑杆的干扰碰撞、提高了硅片的生产良率的目的。

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