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基本信息

一种旋转式ITO蚀刻装置

申请人：湖北仁齐科技有限公司 申请日期：2018-12-30 文献日：2019-11-08 等级：0 文献号：CN209608970U 当前状态：授权 类型：实用新型 主分类号：H05K3/02 分类号：H05K3/02 申请编号：CN201822259149.8 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路 申请人地址：湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路 发明者：兰凯锋

总结

本实用新型公开了一种旋转式ITO蚀刻装置，包括底座，底座上设转盘和倒扣的半圆柱状的隔离罩，隔离罩罩住转盘的一半，转盘上沿径向设竖直的隔离板，隔离板完成对隔离罩侧平面的封挡，转盘上在隔离板的两侧各设一个蚀刻装置。通过该装置进行蚀刻，一方面可保证蚀刻过程都是在封闭的隔离罩中进行，产生的烟气不会对外部的工作人员产生人身伤害，另一方面，可同时对两块物料进行蚀刻操作，增大了工作效率。

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