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一种ITO蚀刻装置

申请人:湖北仁齐科技有限公司 申请日期:2018-12-30 文献日:2019-10-15 等级:0 文献号:CN209497698U 当前状态:授权 类型:实用新型 主分类号:H05K3/02 分类号:H05K3/02 申请编号:CN201822259148.3 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路 申请人地址:湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路 发明者:兰凯锋

总结

本实用新型公开了一种ITO蚀刻装置,包括操作台和设在操作台上的滑动座、隔离箱和气缸,气缸连接滑动座用于推动滑动座进入隔离箱,滑动座上设用于固定物料的物料台和对物料进行蚀刻的蚀刻机构,隔离箱设一个面开口容许滑动座进入,并且滑动座进入隔离箱之后可通过插入隔离箱将隔离箱封闭,使蚀刻过程在封闭的隔离箱内进行,产生的烟气不会与外部的工作人员接触,不会对工作人员产生人身伤害。

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