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基本信息
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一种ITO蚀刻装置
申请人:
湖北仁齐科技有限公司
申请日期:
2018-12-30
文献日:
2019-10-15
等级:
0
文献号:
CN209497698U
当前状态:
授权
类型:
实用新型
主分类号:
H05K3/02
分类号:
H05K3/02
申请编号:
CN201822259148.3
省份:
湖北省
城市:
湖北省黄冈市
申请人地址:
湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路
申请人地址:
湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路
发明者:
兰凯锋
总结
本实用新型公开了一种ITO蚀刻装置,包括操作台和设在操作台上的滑动座、隔离箱和气缸,气缸连接滑动座用于推动滑动座进入隔离箱,滑动座上设用于固定物料的物料台和对物料进行蚀刻的蚀刻机构,隔离箱设一个面开口容许滑动座进入,并且滑动座进入隔离箱之后可通过插入隔离箱将隔离箱封闭,使蚀刻过程在封闭的隔离箱内进行,产生的烟气不会与外部的工作人员接触,不会对工作人员产生人身伤害。
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