总结
本发明公开了一种超声波雾化制备球形硅微粉的生产方法,包括以下步骤:(1)将液态硅加热并保温,温度维持在1450-1550℃;(2)在高纯氧气的雾化介质的氛围下,利用超声波雾化器在在频率为80-160kHZ,气体雾化压力为8.3-8.7Mpa的条件下,将液态硅雾化以生成非晶态球形二氧化硅物料;(3)对生成的二氧化硅料物料进行冷却,即得球形二氧化硅粉体。本发明还提供了利用上述方法生产球形硅微粉的装置。利用本发明制备的球形硅微粉为高纯或超高纯硅微粉,工艺简单,易于产业化,具有较大的应用价值和前景。