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一种以二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法

申请人:黄冈师范学院; 田辉明 申请日期:2019-12-26 文献日:2020-04-24 等级:0 文献号:CN111056556A 当前状态:实质审查 类型:发明公开 主分类号:C01B33/023 分类号:C01B33/023 申请编号:CN201911366826.9 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市开发区新港二路146号 申请人地址:湖北省黄冈市开发区新港二路146号 发明者:田辉明; 田正芳; 黄林勇; 陈中文; 江军明; 雷绍民

总结

本发明涉及一种以高纯二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法,属于非金属矿深加工技术领域。以高纯H2为还原剂、以高纯SiO2为硅源,先在高温1250-1300℃下通入H2,使SiO2被还原成SiO,O与H2反应生成H2O;然后再升温到1350℃通入H2,把温度控制在1350-1400℃之间。此时SiO被H2还原成高纯Si,SiO中的O与H2发生氧化还原反应后生成H2O,整个制备过程对环境无任何污染。

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