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一种磁性材料真空镀膜装置

申请人:武穴市张榜德诚电子有限公司 申请日期:2020-06-20 文献日:2021-02-26 等级:0 文献号:CN212610869U 当前状态:权利终止 类型:实用新型 主分类号:C23C14/24 分类号:C23C14/24 申请编号:CN202021153767.5 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市武穴市大金镇张榜村老砖瓦厂内 申请人地址:湖北省黄冈市武穴市大金镇张榜村老砖瓦厂内 发明者:潘正平

总结

本实用新型公开了一种磁性材料真空镀膜装置,包括真空筒、箱门和真空控制器,所述真空筒中部设置有所述箱门,所述箱门上方设置有拉手,所述拉手上方一侧设置有所述真空控制器,所述真空控制器上方一侧设置有真空泵,所述真空泵上方插接有抽送管,所述抽送管下方设置有冷却管,所述箱门与所述真空筒通过合页连接。有益效果在于:本实用新型通过设置真空控制器和冷却管,不仅能够对真空度进行控制,避免真空度控制不均匀造成镀膜质量差,而且还能够对装置内的真空温度进行循环降温,避免装置内真空温度过高造成镀膜效率低,提高了磁性材料真空镀膜装置工作的效率。

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