总结
本实用新型公开了一种碲电解沉积装置,包括设置在同一水平面的配液釜、电解槽和位于低位的循环槽,电解槽上设置有导电铜排,配液釜和电解槽分别通过溢流管与循环槽连接,电解槽上侧设置有连通溢流管的溢流槽,所述的溢流管上设置有开关阀门和流量计,所述的开关阀门和流量计连接PLC控制柜,PLC控制柜内设置有与导电铜排连接的整流电源,所述的循环槽内设置有循环泵,所述的电解槽底端设置有进液口,所述的进液口通过循环管连接循环泵;电解液可在电解过程中边循环流动边电解,最大程度保证了电解过程中电解液离子浓度均匀性,提高了电解效率和电解碲产品质量。