总结
本发明公开了一种从四羟甲基硫酸磷生产尾气制取高纯H2与PH3的方法，该方法首先对尾气采用分子筛吸附法进行初级净化，以除去H2O,CO2,CH2O,然后利用深冷精馏分离出AsH3,FH3,HF，H2,PH3,最终得到不小于99.99%（4N级）的PH3和H2；本发明与现有技术相比，采用纯物理的方法，利用不同气体的沸点不同，在低温下实现分离，回避了磷化氢自燃的风险，且不会造成次生污染，能够有效降低污染气体的排放，所获得的磷化氢可返回系统重新生产高纯度四羟甲基硫酸磷，氢气可作为清洁燃料，降低了生产成本和系统消耗，并实现四羟甲基硫酸磷的清洁生产。能有效降低有害气体排放，变废为宝。
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