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一种半导体行业CVD粉尘资源化回收利用的方法

申请人:湖北九宁化学科技有限公司 申请日期:2022-07-20 文献日:2022-09-06 等级:0 文献号:CN115010092A 当前状态:公开 类型:发明公开 主分类号:C01B7/19 分类号:C01B7/19 申请编号:CN202210852960.5 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市黄州区路口镇白潭湖片区大别山金融中心B2-11室-16室 申请人地址:湖北省黄冈市黄州区路口镇白潭湖片区大别山金融中心B2-11室-16室 发明者:刘松; 高月; 姜灿; 易乐; 刘东洋; 潘庆祥

总结

本发明属于含氟废物资源化回收技术领域,公开了一种半导体行业CVD粉尘资源化回收利用的方法。本发明是将CVD粉尘和浓硫酸酸解提取氟化氢,反应液经过滤后得到的滤饼,经洗涤、过滤、干燥得到二氧化硅副产品,反应液经过滤后得到的滤液经浓缩结晶、冷却结晶、离心、干燥得到硫酸铵副产品。本发明可以有效地将CVD粉尘中的氟元素、硅元素及氮元素回收为对应的产品,系统内的水可以循环回用,避免资源的浪费和废物的产生,变废为宝。

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