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一种通过废磷酸蚀刻液净化制备电子级磷酸的方法

申请人:黄冈TCL环境科技有限公司 申请日期:2022-07-28 文献日:2022-10-11 等级:0 文献号:CN115159482A 当前状态:公开 类型:发明公开 主分类号:C01B25/234 分类号:C01B25/234 申请编号:CN202210901891.2 省份:湖北省 城市:湖北省黄冈市 申请人地址:湖北省黄冈市黄州火车站经济开发区京九大道98号 申请人地址:湖北省黄冈市黄州火车站经济开发区京九大道98号 发明者:段利中; 邓国平; 刘鹏; 欧阳星星; 徐翔鹏

总结

本发明提供了一种通过废磷酸蚀刻液净化制备电子级磷酸的方法,将磷酸废液采用预处理、萃取、洗涤、反萃、一次浓缩等工艺进行处理,将难处理成分复杂的蚀刻液通过提纯净化,制得合格的电子级磷酸,进而实现面板、半导体、TFT‑LCD液晶显示器行业废蚀刻液的净化回用,极大的降低生产成本和降低处置成本,该方法节约资源且对环境友好。

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