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基本信息
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一种硅片清洗设备
申请人:
武汉宜田科技发展有限公司
申请日期:
2015-04-23
文献日:
2015-09-16
等级:
0
文献号:
CN204638624U
当前状态:
权利终止
类型:
实用新型
主分类号:
B08B3/04
分类号:
B08B3/04
申请编号:
CN201520251385.9
省份:
湖北省
城市:
湖北省黄冈市
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
发明者:
洪育林; 张震; 安冠宇; 李文文; 刘凯
总结
本实用新型实施例公开了一种硅片清洗设备,该硅片清洗设备包括清洗机;放置硅片的水槽,与清洗机连接;将硅片由水槽转移至清洗机的机械手臂,机械手臂设置于清洗机或水槽上,或与清洗机以及水槽间隔设置。实施本实用新型实施例,具有如下有益效果:本实用新型的硅片清洗设备将水槽与清洗机连接,使其与清洗机成为一体,让机械手臂直接从水槽中将硅片移动至清洗机中,免去了人工操作,节约了人力;并且,还可以防止硅片在清洗之前接触空气,从而使清洗效果更好。
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