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基本信息

一种稀土复合刚玉微粉抛光液

申请人：湖北天马研磨材料有限公司 申请日期：2012-11-13 文献日：2013-05-22 等级：0 文献号：CN103113831A 当前状态：撤回 类型：发明公开 主分类号：C09G1/02 分类号：C09G1/02 申请编号：CN201210451511.6 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市团风县城南工业园 申请人地址：湖北省黄冈市团风县城南工业园 发明者：詹学良

总结

本发明涉及工业生产加工中使用的磨具，是一种稀土复合刚玉微粉抛光液，其特征是：其重量百分比组份为：稀土复合刚玉微粉15-40，聚乙二醇脂肪酸酯分散剂1-12，脂肪醇聚氧化烯醚1-15，乙醇10-20，四甲基氢氧化铵1-5，辅助剂1-10，着色剂1-5，余量为高纯去离子水；本发明抛光液可减少传统抛光对工件表面增加的不必要损害，避免金属离子污染，使用更安全，加工质量高、速度快，效果明显，抛光液特别适合用于加工集成电路芯片、硅片。

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