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基本信息

一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法

申请人：武汉宜田科技发展有限公司 申请日期：2015-03-27 文献日：2015-08-26 等级：0 文献号：CN104862134A 当前状态：驳回 类型：发明公开 主分类号：C11D10/02 分类号：C11D10/02 申请编号：CN201510141671.4 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 申请人地址：湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 发明者：洪育林; 张旭; 张震; 张冠; 刘辉

总结

一种硅片脱胶剂，其含有如下重量份数的组分，有机酸20～60％；表面活性剂0.5～5％；有机溶剂5～40％；水15～75％；缓蚀剂0～2％；消泡剂0～2％。本发明提供了一种脱胶速度快、无刺激性气味、成本低、腐蚀性弱而且能够有效的降低破片崩边率、对下道清洗工序提供优良预清洗效果的硅片脱胶剂，以解决现有脱胶剂的脱胶效果差、脱胶成本高且腐蚀性强的缺陷。

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