申请人：湖北芯洁电子科技有限公司 申请日期：2021-12-09 文献日：2022-09-30 等级：0 文献号：CN217517010U 当前状态：授权 类型：实用新型 主分类号：C23C4/123 分类号：C23C4/123 申请编号：CN202123082793.0 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 发明者：文海波; 程润心; 杨佐东; 陈仕超