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基本信息
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一种易降解环保型硅片清洗剂及其制备方法
申请人:
武汉宜田科技发展有限公司
申请日期:
2015-06-09
文献日:
2015-09-09
等级:
0
文献号:
CN104893848A
当前状态:
授权
类型:
发明公开
主分类号:
C11D1/831
分类号:
C11D1/831
申请编号:
CN201510311783.X
省份:
湖北省
城市:
湖北省黄冈市
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
申请人地址:
湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园
发明者:
洪育林; 张震; 李文文; 安冠宇; 张冠; 刘辉
总结
本发明实施例公开了一种易降解环保型硅片清洗剂及其制备方法,该易降解环保型硅片清洗剂的成分包括10-25重量份的表面活性剂、1-4重量份的碱、0.2-2重量份的分散剂、0.5-2重量份的消泡剂以及70-85重量份的去离子水。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明的易降解环保型硅片清洗剂清洗能力强,易于生物降解,避免了会产生危害的挥发性有机物,同时产生的泡沫量较少。
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