总结
本实用新型公开了一种光刻胶软烘干系统，属于光刻胶生产设备技术领域，包括：传送结构、置物架、烘干结构及保温结构。传送结构包括两个驱动带轮及皮带，两个驱动带轮呈并列布置，皮带活动套设于两个驱动带轮之间且其上方的中部形成一工位，皮带为镂空结构；置物架放置于皮带上，置物架上均匀开设有用于放置光刻胶晶片基板的置物槽，每个置物槽的下部均设有一导热板；烘干结构包括安装箱、若干个加热管及匀风组件，安装箱设于工位下方并顶部开口；保温结构包括安装架及两个保温组件；本实用新型通过同时对导热板及保温腔进行加热，而实现软烘干工作，烘干均匀、效果好，还能够减少热量散发，利于节省能源。
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