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基本信息

一种金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂

申请人：武汉宜田科技发展有限公司 申请日期：2016-11-14 文献日：2017-04-26 等级：0 文献号：CN106590969A 当前状态：驳回 类型：发明公开 主分类号：C11D1/83 分类号：C11D1/83 申请编号：CN201610998156.2 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 申请人地址：湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 发明者：杨文勇; 洪育林; 张震; 安冠宇; 张旭; 印士权

总结

本发明涉及一种金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂，该金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂包括：高分子分散剂10～30重量份，渗透剂0.1～5重量份，溶剂5～10重量份，水45～70重量份，缓蚀剂0.001～0.1重量份。实施本发明实施例，具有如下有益效果：本发明的金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂具有的优异的渗透作用，加速胶层与硅片的剥离速度，同时也可以使硅片表面吸附的由于切割过程中产生的硅粉、碳化硅微粉、树脂微粉等脏污的剥离，达到硅片预清洗功能，并且不会对操作工人皮肤造成损伤，无刺激性气味，用量也较小。

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