总结
本发明公开了一种超声波雾化制备球形硅微粉的生产方法，包括以下步骤：(1)将高温熔化后液态硅加入坩埚内，用电加热方式维持硅液的温度1450-1550℃；(2)在雾化介质的氛围下，利用超声波气体雾化器在频率为80-160kHz，气体雾化压力为8.3-8.7Mpa的条件下，将液态硅雾化到纯水中，与纯水反应以生成非晶态球形二氧化硅料颗粒，并用纯水进行冷却；(3)对冷却釜内生成的二氧化硅料浆物料补水；冷却后的料浆压滤，经洗涤干燥后即得球形二氧化硅粉体。本发明还提供了利用上述方法制备球形硅微粉的装置。本发明利用高压氩气或高压氦气或高压水蒸气为雾化介质，并利用超声雾化使得雾化后的高温硅微滴与水充分快速反应，极大地提高产物的得率，所制备的球形硅微粉纯度高。
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