一种功能性半导体器件的切割方法
申请人:湖北美格新能源科技有限公司
申请日期:2021-09-24
文献日:2021-12-24
等级:0
文献号:CN113829528A
当前状态:公开
类型:发明公开
主分类号:B28D5/00
分类号:B28D5/00
申请编号:CN202111119398.7
省份:湖北省
城市:湖北省黄冈市
申请人地址:湖北省黄冈市黄州区新港北路19号光谷联合科技城3期E3栋
申请人地址:湖北省黄冈市黄州区新港北路19号光谷联合科技城3期E3栋
发明者:邱旭东; 徐浩; 桂裕鹏