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基本信息

一种E-Chuck清洗工艺

申请人：湖北芯洁电子科技有限公司 申请日期：2022-10-08 文献日：2023-02-03 等级：0 文献号：CN115672804A 当前状态：公开 类型：发明公开 主分类号：B08B1/00 分类号：B08B1/00 申请编号：CN202211223405.2 省份：湖北省 城市：湖北省黄冈市 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 申请人地址：湖北省黄冈市黄州区华海大道特1号 发明者：陈仕超; 杨佐东; 李强; 孙锐; 赵薇

总结

本发明涉及静电卡盘清洗设备领域，公开了一种E‑Chuck清洗工艺。包括以下施工步骤：S1：清洗前准备工作；S2：遮蔽冲洗擦拭；S3：遮蔽浸泡；S4：去除遮蔽；S5：浸泡风干；S6：擦拭；S7：打磨；S8：超声波清洗；S9：高压水洗；S10：搬入无尘室再进行超声波冲洗；S11：超纯水清洗；S12：去除遮蔽；S13：擦拭；S14：清洗后处理工序。

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