本实用新型公开了一种超声波雾化制备球形硅微粉的生产装置，包括控速下料器、电加热保温装置、超声波雾化器、水冷却反应装置、中转槽、隔膜泵板框压滤机、打浆机、喷雾干燥机、筛分装置和风机；所述电加热保温装置包括电加热坩埚和电加热管，两者从上到下依次连接；所述电加热保温装置、超声波雾化器、水冷却反应装置、中转槽从上到下依次连接；中转槽通过隔膜泵连接到板框压滤机，板框压滤机再连接到打浆机；打浆机通过送料泵连接到喷雾干燥机上端雾化喷嘴进料口，喷雾干燥机下端顺次连接筛分装置和风机。本装置利用超声雾化生产高纯球形硅微粉，具有较大的应用前景。